Ултразвуково оборудване за пиролиза за спрей и система за покритие на TCO

Еднообразен тънък филм индиев калаещ оксид (ITO), алуминиев легиран цинков оксид (AZO), цинков оксид (ZnO) и легирани оксидни слоеве на флуор обикновено се произвеждат чрез ултразвукова технология за пиролиза на спрей. Този уникален процес изисква специализирано оборудване за покритие, за да се създаде необходимата дебелина и форма на покритието, и за пръскане на корозивни разтвори във високотемпературна среда.

По време на високотемпературната ултразвукова пиролиза на спрея, прекурсорният разтвор (като алуминиев цинков оксид) се пръска върху субстрата, нагряван до около 300-500 градус. Разтворителят се изпарява по време на транспортиране, а ZnO кристален филм расте върху повърхността на субстрата, обикновено натриев калций или друго стъкло. Температурата на субстрата обикновено определя морфологичните характеристики на филма.

Ултразвуковото спрей мокро отлагане осигурява на производителите рентабилна алтернатива на отлагането на вакуум и разпръскване, с по-голяма ефективност на трансфера. Размерът на капчиците, генериран от ултразвуковия атомизиращ дюзата, е силно равномерен, който може да постигне оптималния размер на капчиците за реакция на пиролиза и всички капчици ще реагират едновременно по същия начин по време на процеса на отлагане. Независимо дали става въпрос за изследвания и разработки или масово производство, това ще донесе ефективни производствени процеси на TCO.

Използването на забавен ултразвуков дюза преодолява предизвикателството на процеса за пръскане на силно корозивни киселини. Накрайникът е изработен от конструктивни материали, устойчиви на корозия и има свойствата без блокиране, повторяемост и дълъг живот. Той дори може да пръска силно корозивна солна киселина или разтвори на хидрофлуроводородна киселина.

Предимства на ултразвуковата система за пиролиза за спрей за TCO покритие:

1. В сравнение с процеса на CVD (отлагане на пари), ултразвуковата пиролиза на спрея е проста, гъвкава и рентабилна.
2. Доказана експертиза за покритие на TCO.
В сравнение с други методи за пръскане, ултразвуковите дюзи могат да отлагат повече равномерни слоеве.
4. Лесен за регулиране и повтарящо се параметри на покритие.
5. Напълно интегрирана патентована ултразвукова технология на дюзите и доставка на течност, осигуряваща пълен разтвор на покритие.
Процесите на алтернативна нискотемпературна пиролиза за спрей (250 градуса и по-долу) се появяват постоянно и са проведени повече изследвания и разработки на химикали, които не се нуждаят от високотемпературни целеви субстрати.